基于CSMC 0.5微米混合信号工艺的ESD保护电路实现

• 作者: 李湘君
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: ESD保护电路 输入级电路设计 输出级电路设计 电源地电路设计 版图设计 混合信号工艺
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN306
• 字数: 1517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2017.05.003

摘要

ESD保护电路已经成为CMOS集成电路不可或缺的组成部分,MOS器件的栅氧化层面积小、厚度薄,因此在测试、封装和应用过程中,来自人体或设备的静电电荷可产生的高达几千伏以上的电压,足以使栅氧化层击穿,造成器件失效.根据选用的CSMC 0.5μmFEOL 0.35μm BEOL Mixed Signal工艺推荐的ESD保护结构,完成输入级、输出级及电源地的ESD电路设计,同时根据版图设计规则,完成了芯片端口ESD设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李湘君	中国电子科技集团公司第四十七研究所	4	10	2.0	3.0