一种利用激光干涉非接触式测量玻璃厚度的新方法

• 作者: 关国业 林方 谭东杰
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 非接触式测量 迈克尔逊干涉仪 玻璃厚度 激光干涉
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 6-13
• 页数: 8页
• 分类号: TP2

摘要

本文提出一种结合激光与计算机实现非接触式测量玻璃等透明物体厚度的新方法。该方法基于迈克尔逊干涉仪,利用转动待测样品造成干涉条纹移动间接测量样品厚度,对器件要求较低,操作简便且不会对待测样品造成损坏。在大学物理实验室条件下,该方法测量精度即可达到0.1 mm。在此基础上,本文还提出了一套封装一体化改进设计方案,有利于提高便携性、测量便利性与精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林方	四川大学物理科学与技术学院	11	0	0.0	0.0
2	关国业	四川大学物理科学与技术学院	4	0	0.0	0.0
3	谭东杰	四川大学物理科学与技术学院	1	0	0.0	0.0