一个由步进电机驱动的3支点扫描探针显微镜基座

• 作者: Andres La Rosa 白江华
• 来源期刊: 测试科学与仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 步进电机 射频控制 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 页码范围: 271-276
• 页数: 6页
• 分类号: TM383.6
• 字数: 362字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8042.2017.03.010

摘要

设计了一个由3个步进电机驱动的扫描探针显微镜(Scanning probe microscope,SPM)基座.这个基座比普通的由一个电机驱动的基座要灵活,但基座的控制也相对复杂.基座的3个电动机由一个Arduino单片机来控制.在Arduino单片机里面还设计了一个状态机,通过这个状态机单片机与电脑上位机和一个射频遥控器进行通信.另外,本项目还用两个5状态LED来显示有限状态机(Finite state machine,FSM)的不同状态以及电动机和基座的运动状态.最后,通过测试和调试,本基座在Z方向上能实现700纳米的机械控制分辨率.