行星运动方式下不同形状磨头的去除函数

• 作者: 丁蛟腾 姚永胜 沈乐 王永杰 蒋波 许亮 马臻
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 行星抛光 磨头 高斯型去除函数 自转去除函数
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2706-2713
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.2|TG747
• 字数: 2671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172510.2706

摘要

为了在光学元件的加工中获取更加接近高斯型的去除函数,本文基于传统行星运动抛光理论,提出了用自转去除函数公转轨迹积分较方便地求取各种复杂形状磨头去除函数的方法.当转速比大于10时,新方法与传统方法得到的实心圆盘去除函数曲线非常接近,从而验证了提出方法的正确性.采用新方法推导了不同形状磨头的去除函数,并通过计算机进行了仿真实验.实验显示:磨头形状为Ⅱ型花瓣,偏心率为0.4时,可以获得非常接近高斯型的去除函数.针对Ⅱ型花瓣磨头进行了抛光试验,结果表明,当偏心率为0.4、转速比为10时,试验结果与仿真结果非常吻合,且都非常接近高斯型去除函数.实验结果再次验证了新方法的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马臻	中国科学院西安光学精密机械研究所	39	533	13.0	22.0
2	许亮	中国科学院西安光学精密机械研究所	14	51	4.0	6.0
3	王永杰	中国科学院西安光学精密机械研究所	40	393	13.0	18.0
4	丁蛟腾	中国科学院西安光学精密机械研究所	6	27	3.0	5.0
5	姚永胜	中国科学院西安光学精密机械研究所	1	2	1.0	1.0
6	沈乐	中国科学院西安光学精密机械研究所	1	2	1.0	1.0
7	蒋波	中国科学院西安光学精密机械研究所	3	2	1.0	1.0