非晶氧化铟镁薄膜晶体管的光电特性研究

• 作者: 卢慧玲 周航 张乐陶 张盛东
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管 金属氧化物 紫外探测 氧化铟镁 光电特性
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2017.01.005

摘要

研究了氧化铟镁(MgInO)薄膜晶体管在不同波长下的光响应.实验表明,入射光波长减小,光电流将增加.和积累区相比,耗尽区具有更高的信噪比,更适合于紫外探测.器件在短波时具有较大的响应度(＞1 A/W),截止波长在360 nm左右.同时研究了源漏电压和沟道长度对光电流的影响.光电流与源漏电压之间具有良好的线性关系;沟长变短,渡越时间减小,可获得更高的光电增益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张盛东		13	47	4.0	6.0
2	周航		6	2	1.0	1.0
3	卢慧玲		1	0	0.0	0.0
4	张乐陶		1	0	0.0	0.0