金刚石刀具刀尖圆弧波纹度的测量及评价

• 作者: 岳晓斌 崔海龙 张晓峰 雷大江
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石刀具 刀尖圆弧波纹度 径向回转误差 偏心偏角误差 非线性误差
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2697-2705
• 页数: 9页
• 分类号: TG580.619.2
• 字数: 4755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172510.2697

摘要

为实现金刚石刀具刀尖圆弧波纹度超精密测量,构建了基于原子力显微镜(AFM)和精密回转轴系的刀尖圆弧轮廓测量系统,研究了刀尖圆弧波纹度评价方法和控制测量系统引入误差的策略.提出了评价刀尖圆弧波纹度时截止波长的确定原则和方法,并介绍了刀尖圆弧波纹度测量原理及评价流程.讨论了精密回转轴系径向回转误差的测量和评定、刀具安装偏心和偏角误差的控制和原子力扫描系统Z向非线性误差的校准方法.最后,在构建的测量系统上测量了了金刚石刀具刀尖圆弧波纹度并对测量不确定度进行了分析.实验测量显示:所评价金刚石刀具的刀尖圆弧波纹度为0.106μm,测量不确定度为23.8 nm,表明所构建的测量系统基本满足金刚石刀具刀尖圆弧波纹度纳米级测量及评价的需求,测量结果稳定可靠、精度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷大江	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	27	147	8.0	11.0
2	岳晓斌	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	28	153	8.0	10.0
3	张晓峰	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	10	27	3.0	4.0
4	崔海龙	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	19	96	5.0	9.0