基于声表面波驱动器的液体单方向驱动

• 作者: 杉山进 李以贵 李俊衡 王欢 颜平 黄远
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 浮动电极型单向换能器(FEUDT) 单向声表面波 阻抗分析 传播分析 剥离工艺 单向驱动
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 26-30,52
• 分类号: TB51
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.01.005

摘要

设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动.通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最佳驱动频率和最优指条宽度.利用剥离工艺,在128°旋转Y切向X方向传播的铌酸锂基板上,制作了周期为80μm、指条对数为40对、指条金属层厚度为1μm、指条宽度为7.3μm的FEUDT型SAW驱动器.搭建了SAW驱动器的驱动系统,实现了液体在器件表面上单向驱动.实验结果表明:FEUDT型SAW驱动器在驱动功率为4W、驱动频率为48.8 MHz的电信号激励下,液滴在SAW驱动器表面上的驱动速度可达50 mm/s;在驱动功率为6.2W、驱动频率为48.8 MHz的电信号激励下,液体在微流道中的驱动速度约为20 mm/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢	上海应用技术大学理学院	18	29	3.0	4.0
2	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
3	黄远	上海应用技术大学理学院	11	19	3.0	3.0
4	颜平	上海应用技术大学理学院	11	19	3.0	3.0
5	李俊衡	上海应用技术大学理学院	3	3	1.0	1.0