数字全息显微测量再现算法比较研究

• 作者: 李明洲 王红军 程佳欣
• 来源期刊: 仪器与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 数字全息显微 测量 再现算法
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 29-37
• 页数: 9页
• 分类号: TP39

摘要

数字全息显微测量技术是结合光学全息术、计算机技术以及光电成像技术并且逐渐发展而来的一种全新的成像技术,通过计算机处理得到三维结构及其各个测量指标的一种测量检测方式,是检测显微样本微观结构的重要方法,能够测量出所需要的各项观测指标。文中采用菲涅耳近似再现算法与卷积再现算法实现了数字全息图的再现,通过对微器件进行检测,验证了该方法用于微器件几何参数测量的可行性和有效性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王红军	西安工业大学光电工程学院	25	136	7.0	10.0
2	李明洲	西安工业大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0
3	程佳欣	西安工业大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0