子孔径拼接干涉的快速调整及测量

• 作者: 卢云君 唐锋 王向朝 郭福东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉测量 自动测量 子孔径拼接 拼接误差
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2682-2688
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172510.2682

摘要

考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求,提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法.分析了干涉条纹数量对拼接误差的影响,分析显示:当子孔径干涉条纹数量少于5条时,干涉仪回程误差小于λ/50(PV值).对子孔径拼接测量装置进行了结构优化,提出了拼接位移台角位移偏差自动补偿方法,实现了各个子孔径的零条纹测量,进而控制了子孔径拼接的累积误差.对450 m m×60 m m长条镜进行了子孔径拼接干涉测量,结果表明:自动测量结果与手动调整零条纹测量结果在面形分布上更为一致;但前者测量速度及测量效率都有所提高,测量时间平均减少5 min.提出的方法不仅能完成干涉拼接测量装置的自动定位及自动快速调整,还提高了测量重复性与检测效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室	170	1628	23.0	35.0
2	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室	19	47	4.0	6.0
3	卢云君	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室	11	51	3.0	7.0
4	郭福东	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室	6	4	1.0	2.0