GaAs基多结太阳电池TiO2/Al2O3/SiO2减反射膜的设计与制备

• 作者: 付蕊 刘虎 涂洁磊 白一鸣 陈吉堃 陈诺夫 陶泉丽 马大燕
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs基多结太阳电池 TiO2/Al2O3/SiO2减反射膜 反射谱 电子束蒸发 有效反射率
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 38-42
• 分类号: TM914.4|O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.01.007

摘要

宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要.设计和制备了宽光谱TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜.理论研究发现,当TiO2/Al2 O3/SiO2三层减反射膜最佳物理厚度为41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm时,在350～1 800 nm宽光谱范围内获得最小有效反射率为2.85％.依据理论设计,采用真空电子束蒸发法制备了相应厚度的TiO2/Al2 O3/SiO2三层减反射膜,分光光度计测试结果表明,在350～1 800 nm宽光谱范围内,有效反射率为7.21％,且在485 nm和850 nm波长附近获得反射率极小值4.39％和2.16％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘虎	华北电力大学可再生能源学院	28	91	6.0	8.0
3	涂洁磊	云南师范大学太阳能研究所	26	67	5.0	6.0
4	陈诺夫	华北电力大学可再生能源学院	22	33	3.0	4.0
5	陶泉丽	华北电力大学可再生能源学院	10	13	2.0	3.0
6	白一鸣	华北电力大学可再生能源学院	20	35	3.0	4.0
7	付蕊	华北电力大学可再生能源学院	5	14	2.0	3.0
10	马大燕	华北电力大学可再生能源学院	5	6	2.0	2.0