氢分子束流引入对ECR氢等离子体中离子特征的影响

• 作者: 张一川 朱晓东 李唤 杨宽 石正雨
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氢等离子体 离子特征 碰撞过程 电子回旋共振等离子体
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 809-814
• 页数: 6页
• 分类号: O539
• 字数: 3147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.08.11

摘要

利用质量能量分析仪研究了微波电子回旋共振(ECR)氢等离子体的离子特征以及氢分子束流引入对离子特征的影响.在工作气压1 Pa的放电条件下,探测到了H+、H+2和H+3三种氢离子,其中H+2为主要离子;随放电功率的增加,探测到的离子通量增加.维持氢气放电条件不变,在工作区引入微量的氢分子束流.在束流增加的初始阶段,电子-离子的复合反应增强,探测到的三种离子通量都减小;相对于高能离子,低能区的离子数显著减少;三种离子归一化后H+2相对含量增加,H+3相对含量减少,而H+的相对含量基本不变;相对含量的变化与不同离子-分子间碰撞的差异有关.随着氢气束流进一步增加,各种离子相对含量趋于稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱晓东	中国科学技术大学近代物理系	33	346	8.0	18.0
2	杨宽	中国科学技术大学近代物理系	5	5	1.0	2.0
3	张一川	中国科学技术大学近代物理系	4	5	1.0	2.0
4	李唤	中国科学技术大学近代物理系	3	4	1.0	2.0
5	石正雨	中国科学技术大学近代物理系	1	0	0.0	0.0