冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究

• 作者: 任世强 姜大川 安广野 张磊 李鹏廷 王凯 王峰 谭毅 郭校亮
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 工业硅 介质熔炼 定向凝固 电子束熔炼
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 281-286
• 页数: 6页
• 分类号: TF89
• 字数: 2866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20160324

摘要

以工业硅为原料,利用介质熔炼、定向凝固和电子束熔炼三种熔体处理技术对工业硅中的B、P和金属杂质进行了去除,制备出了99.9999%级多晶硅材料,其中,杂质B和P的含量分别低于0.20 ppmw(parts per million(weight),百万分之一质量),金属杂质总含量(TM)低于0.23 ppmw.研究发现,介质熔炼去除杂质B的过程中,熔体中发生氧化还原反应可以有效去除大部分的杂质Al和Ca;电子束熔炼过程中,利用饱和蒸气压原理可以有效去除挥发性杂质P、Al、Ca,同时降束诱导多晶硅定向凝固,可将其他金属杂质进一步去除.本研究通过各技术间的耦合除杂,减少了冶金法提纯多晶硅的工序,为连续化、规模化生产提供了技术支撑.