占空比对复合离子沉积TiZrN薄膜的影响

• 作者: 张川 张臣 曲泓函 郭雅琴 陈泽昊 黄美东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 复合离子沉积 TiZrN薄膜 占空比 微观结构 硬度
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 2006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.04.10

摘要

本文采用复合离子镀方法制备TiZrN薄膜,研究基体脉冲偏压占空比变化对薄膜结构和性能的影响规律.利用扫描电子显微镜观察薄膜表面的形貌;采用X射线衍射分析薄膜的微观结构;薄膜的沉积速率由XP-2台阶仪测得;通过维氏硬度计表征薄膜的硬度.实验结果表明:TiZrN薄膜的表面粗糙度和硬度都随着占空比的增加而减小;TiZrN薄膜的微观结构随占空比发生变化;TiZrN薄膜的沉积速率随占空比的增大呈现出先增大后减小的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
2	陈泽昊	天津师范大学物理与材料科学学院	6	14	2.0	3.0
3	张川	天津师范大学物理与材料科学学院	6	4	1.0	1.0
4	张臣	天津师范大学物理与材料科学学院	5	13	2.0	3.0
5	曲泓函	天津师范大学物理与材料科学学院	2	1	1.0	1.0
6	郭雅琴	天津师范大学物理与材料科学学院	1	1	1.0	1.0