微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验

• 作者: 佟浩 刘国栋 孔全存 李勇 钟昊
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电解加工 微细硅工具电极 侧壁绝缘层 体硅湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 26-30,66
• 页数: 6页
• 分类号: TG662
• 字数: 4379字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工.设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺.初步实验得到电极加工部尺寸约为100tμm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极.利用高速旋转的微细硅工具电极在18CrNi8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔.实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性.经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔全存	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	20	35	3.0	5.0