不锈钢表面溅射氮化铝陶瓷膜工艺参数的研究

• 作者: 何晓冬 章何菁 马希直
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝薄膜 射频磁控溅射 不锈钢 中间过渡层
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 754-758
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3073字
• 语种: 中文

摘要

工业生产中需要测量机械零件的润滑油膜厚度,利用超声波检测可实现无损检测的目的.利用氮化铝(AlN)陶瓷膜制成的压电换能器对超声波发射和接收.利用射频磁控溅射技术,在不锈钢表面沉积AlN薄膜.利用X线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)等设备对AlN薄膜结构表征,并对结果进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马希直	南京航空航天大学机电学院	58	291	10.0	14.0
2	章何菁	南京航空航天大学机电学院	2	7	2.0	2.0
3	何晓冬	南京航空航天大学机电学院	1	2	1.0	1.0