反应等离子沉积装置的性能研究

• 作者: 张晓丹 张迎春 杜荣池 王广才 赵颖
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 航空航天
• 关键词: 反应等离子体 透明导电膜 掺钨透明氧化物
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 136-141
• 页数: 6页
• 分类号: V439
• 字数: 4924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2017.03.003

摘要

反应等离子沉积方法具有离子轰击能量低、薄膜沉积时衬底温度低的特点,可应用于太阳电池、LED(OLED)等的高质量透明导电材料的制备,有利于获得高转换效率的太阳电池.对反应等离子沉积系统进行了研究,并在FLD08型RPD设备上,制备了掺钨透明氧化物IWO薄膜材料,获得了较好的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵颖	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	105	1195	16.0	33.0
2	张晓丹	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	57	247	7.0	14.0
3	王广才	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室	5	5	1.0	2.0
4	杜荣池	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	张迎春		1	1	1.0	1.0