固结磨料研磨CVD金刚石膜的运动轨迹仿真及试验研究

• 作者: 何艳 刘永吉 汲军 罗和平 苑泽伟
• 来源期刊: 重型机械
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 运动仿真 电镀金刚石盘 抛光
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TG321
• 字数: 1493字
• 语种: 中文

摘要

CVD金刚石膜的应用范围日益扩大,已经从传统的刀具、模具领域扩展至高频通讯、光电、微电子等产业.本文首先通过理论分析建立抛光盘与工件之间的运动模型,然后根据建立的模型确定工件运动轨迹方程,并使用Matlab进行了抛光试验的运动仿真,得出了最优的抛光转速组合;最后采用电镀金刚石盘进行抛光试验,采用光学显微镜对金刚石膜抛光前后的表面形貌进行分析,采用Talysurf分析抛光前后的表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗和平		10	39	4.0	6.0
2	汲军		8	26	3.0	5.0
3	何艳	沈阳工业大学机械工程学院	7	11	2.0	3.0
4	苑泽伟	沈阳工业大学机械工程学院	11	28	4.0	5.0
5	刘永吉		6	1	1.0	1.0