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加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究
加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究
作者:
冯刘
吴玲玲
牛森
程宏昌
苗壮
陈靖
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
加热器
蓝宝石衬底
衬底应力
温度场均匀性
有限元
应力仿真
摘要:
为了研究真空系统中被加热的蓝宝石衬底应力的变化,利用有限元分析方法,借助ANSYSWorkbench软件仿真了温度场以及应力场,对两种不同结构的加热器及加热工艺参数进行了分析.用多圈钨丝螺旋结构外加抛物面釜的加热器,并改变工作电流,将200℃下温度差异由41.13℃降低至2.33℃,使厚度为2mm、直径40mm的蓝宝石衬底整个圆面内的应力差异由2.11MPa减小为1.56 MPa,应力差异减小了26.1%.结果表明,采用多圈钨丝螺旋结构外加抛物面釜可获得高均匀性的加热器温度场,且当工作电流为12A时,加热的蓝宝石衬底整个表面应力分布均匀.并采用蓝宝石衬底的应力检测结果进行了验证.研究结果对真空系统中被加热的其它材料如GaAs、InGaAs、GaN、Si、石英玻璃等应力分析研究具有一定的借鉴意义.
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内容分析
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关键词热度
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篇名
加热器结构及工艺对蓝宝石衬底应力的影响研究
来源期刊
红外技术
学科
工学
关键词
加热器
蓝宝石衬底
衬底应力
温度场均匀性
有限元
应力仿真
年,卷(期)
2017,(1)
所属期刊栏目
材料与器件
研究方向
页码范围
36-39,57
页数
5页
分类号
TN104
字数
2773字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
吴玲玲
31
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6.0
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3
陈靖
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程宏昌
18
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苗壮
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加热器
蓝宝石衬底
衬底应力
温度场均匀性
有限元
应力仿真
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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红外技术
主办单位:
昆明物理研究所
中国兵工学会夜视技术专业委员会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-8891
CN:
53-1053/TN
开本:
大16开
出版地:
昆明市教场东路31号《红外技术》编辑部
邮发代号:
64-26
创刊时间:
1979
语种:
chi
出版文献量(篇)
3361
总下载数(次)
13
总被引数(次)
30858
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