单层及少层二硫化钼薄膜的制备及其气敏性能研究

• 作者: 刘云云 李新建 田永涛 许婷婷
• 来源期刊: 郑州大学学报（理学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积法 MoS2薄膜 少层结构 气敏性能
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TB321|O484.4
• 字数: 2690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13705/j.issn.1671-6841.2017016

摘要

通过化学气相沉积法,以MoO3和S粉为反应物制备大面积的二硫化钼(MoS2)薄膜,通过拉曼光谱、原子力显微镜、透射电子显微镜对产物的层数和结构进行表征,结果证明通过该方法制备的MoS2薄膜具有单层及少层结构.气敏测试结果表明该超薄MoS2薄膜在室温下对NO具有良好的灵敏度和选择性,对体积浓度为10、50(×10-6)的NO气体的灵敏度为9.3%和19.3%,响应时间(恢复时间)快,分别为281 s(298 s)和120 s(190 s),其优异的气敏性能与超薄MoS2薄膜的高比表面积息息相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新建	郑州大学物理工程学院	52	218	8.0	13.0
2	田永涛	郑州大学物理工程学院	16	29	3.0	3.0
3	许婷婷	郑州大学物理工程学院	5	7	2.0	2.0
4	刘云云	郑州大学物理工程学院	1	4	1.0	1.0