集成电路制造企业的化学品处置规则研究

• 作者: 林松
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 化学品 特殊气体 处置规则 应急响应
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 5265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2017.07.010

摘要

集成电路制造企业必须及其重视化学物品和特殊气体的处置规则.集成电路制造过程所涉及的化学品包括:指因生产、实验、研发过程所使用各类化学元素、化合物和混合物,无论其为天然的或人造的,包括气态和液态的化学品.Fab化学品审查委员会负责各厂区新化学物料使用和保管的审查,及化学品的SDS或MSDS安全技术文件.化学品从采购、接收、储存、搬运和使用各个环节制订处置规则.对于特殊化学气体必须制定特别的处置规则.企业还必须制定紧急应对处置预案并进行培训.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林松		2	1	1.0	1.0