3kW射频板条CO2激光器功率稳定性的研究

• 作者: 唐霞辉 彭浩 陈晓姣
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 3kW射频板条CO2激光器 整形光路尾镜取样 功率检测与反馈 光束偏移 转折镜调节补偿
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光器件
• 页码范围: 91-97
• 页数: 7页
• 分类号: TN248.2+2
• 字数: 2662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.01.019

摘要

为了解决3kW射频板条CO2激光器在高功率工作条件下功率波动的问题,采用外光路转折镜调节方法对腔镜热畸变造成的光路偏移进行补偿.研究了基于芯片TMS320LF2407的脉宽调制器控制激光器注入功率的关键技术,设计了整形光路尾镜取样功率检测系统,并分析了外光路自适应调节系统的补偿原理.结果表明,整形光路尾镜取样功率检测系统与基准功率计的最大误差为±2.59%,其具有高线性度;采用PA 100/T 14型压电陶瓷微位移驱动器,对微动距离不超过54μm的自适应调节转折镜进行调节补偿,光束偏移不会超出空间滤波器的0.8mm狭缝宽度;调节补偿前后输出功率波动由18%降到2%,达到了由于腔镜热变形导致光束偏移的补偿要求,整形光束的旁瓣消失,获得最佳模式输出.此项研究对提高激光器输出功率稳定性具有一定的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐霞辉	华中科技大学光学与电子信息学院激光加工国家工程研究中心	59	430	13.0	18.0
2	彭浩	华中科技大学光学与电子信息学院激光加工国家工程研究中心	17	98	6.0	9.0
3	陈晓姣	华中科技大学光学与电子信息学院激光加工国家工程研究中心	2	6	1.0	2.0