径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善

• 作者: 张永亮 林乐 段宣明 董贤子 赵震声 郑美玲 金峰
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非线性光学 纵向分辨率 双光子加工 径向偏振 微纳聚合物结构
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 76-80
• 分类号: O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2017.01.012

摘要

研究了径向偏振型飞秒脉冲激光并将其引入基于双光子吸收理论的微纳加工系统,得到了更高纵向分辨率、更低长径比的二维微纳尺度聚合物结构.对聚焦光场内光强分布的理论模拟表明:径向偏振型飞秒脉冲激光在提高纵向分辨率的同时会在一定程度上降低聚合物结构的横向分辨率,使聚合物结构的长径比降低.用扫描电子显微镜表征聚合物结构得到的结果与理论模拟结果具有良好的一致性.径向偏振型飞秒脉冲激光提高了微纳尺度聚合物结构的纵向分辨率,在激光光刻领域有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金峰	中国科学院理化技术研究所	22	1166	11.0	22.0
2	郑美玲	中国科学院理化技术研究所	10	23	3.0	4.0
3	段宣明	中国科学院理化技术研究所	25	80	5.0	7.0
7	张永亮	中国科学院理化技术研究所	30	212	7.0	13.0
8	赵震声	中国科学院理化技术研究所	17	64	4.0	7.0
9	林乐	中国科学院理化技术研究所	3	16	3.0	3.0
13	董贤子	中国科学院理化技术研究所	14	35	3.0	4.0