飞秒激光直写制备内嵌微透镜、能源器件及生物传感器的研究进展

• 作者: 于泳超 侯婷琇 冯国英 周伟平 李若舟 王树同 白石 胡安明 郑崇 马德龙
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光制造 激光直写 飞秒激光 微透镜 超级电容器 柔性传感器
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: "超快激光加工与微纳制造"专题
• 页码范围: 21-31
• 页数: 11页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0102002

摘要

飞秒激光具有超短脉宽和极高峰值强度,已广泛应用于精细加工与微纳制造领域.目前,激光直写技术用于柔性器件的制备受到极大的关注.综述了激光直写技术的四个研究方向:1)激光直写微透镜用于广角成像;2)激光制备纳米金/还原氧化石墨烯微超级电容器;3)聚酰亚胺基体上多层超级电容器的制备;4)电容生物传感器的激光制备.同时介绍了本课题组开展的相关研究工作,可为激光直写制备微纳结构器件的研究与应用及未来发展方向提供参考.