基于吹塑成型方法的微玻璃空腔的设计与制备?

• 作者: 刘俊 王任鑫 白冰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 3D微玻璃空腔 吹塑成型 硼硅酸盐玻璃 阳极键合
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 71-76
• 页数: 6页
• 分类号: TH122
• 字数: 2754字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.01.014

摘要

根据硼硅酸盐玻璃的内部结构特殊性和热学性质，设计并制备出两种3D微玻璃空腔，主要讲述了3D微玻璃空腔的设计过程和吹塑成型的制备方法。 CORNING Pyrex 7740玻璃是硼硅酸盐玻璃的代表。将硅片进行深硅刻蚀形成深槽，并与7740玻璃进行常压下的阳极键合，形成微空腔；将得到的微空腔放入真空退火炉中进行退火，使玻璃空腔内部空气膨胀，最终形成3D微玻璃空腔。经过实验得到的两种3D微玻璃空腔表明其制备工艺的可行性，将制备出的3D微玻璃空腔运用到导航器件的设计和微结构的封装等方面，具有比较好的发展前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	白冰	中北大学电子测试技术重点实验室	5	8	2.0	2.0
3	王任鑫	中北大学电子测试技术重点实验室	15	13	2.0	3.0