磨料粒径对铝栅CMP去除速率和粗糙度的影响

• 作者: 刘玉岭 张文霞 张金 闫辰奇
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械平坦化 去除速率 粒径 粗糙度 高k金属栅极
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 生产实践
• 页码范围: 29-31,39
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2017.01.007

摘要

在铝栅化学机械平坦化(CMP)中磨料直接影响去除速率和表面粗糙度.采用不同粒径的磨料配置抛光液对铝栅进行CMP实验,对去除速率和表面形貌测试结果进行分析.结果表明,去除速率与参与抛光的磨料颗粒数目和单个颗粒去除速率有关,表面粗糙度与单个磨料颗粒机械作用和抛光后磨料颗粒表面吸附有关,并对抛光液稳定性进行了研究.最终选用粒径70 nm,质量分数为5％的磨料,去除速率可达到181 nm/min,表面粗糙度为9.1nm,对今后铝栅CMP的研究提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉岭	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	263	1540	17.0	22.0
2	张金	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	29	200	9.0	13.0
3	闫辰奇	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	11	34	3.0	5.0
4	张文霞		1	3	1.0	1.0