光刻系统实验教学平台搭建及课程开展

• 作者: 刘勐 汪家奇 王奇
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻系统平台 集成电路技术 实验设计
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 10-12,15
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|TN405
• 字数: 4400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2017.06.003

摘要

目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验.大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、 搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要.介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、 课堂组织、 注意事项.此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪家奇	大连理工大学国家示范性微电子学院	10	24	3.0	4.0
2	王奇	大连理工大学物理与光电工程学院	16	13	2.0	2.0
3	刘勐	大连理工大学国家示范性微电子学院	5	5	1.0	2.0