形貌与微变形全场光学同时测量方法

• 作者: 吴思进 杨连祥 蒋艳鹏
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 数字散斑干涉 数字条纹投影 形貌 微变形
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: O439|TN247
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201738.0103002

摘要

在实际工程应用中,对材料形貌和结构变形等参量的检测是必不可少的,而且往往需要进行多参量同时测量.针对该背景,采用数字散斑干涉与数字条纹投影相结合的测量方法,设计了一种集成光路,通过在数字散斑干涉实验光路中引入一个投影设备,实现物体表面形貌和微变形的同时测量.所提出的方法具有全场非接触测量的优点,且测量光路简单、操作方便、效率高、可靠性强.该方法的形貌测量分辨率优于10 μm,形变测量分辨率优于30 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴思进	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	25	74	5.0	7.0
2	蒋艳鹏	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	5	1.0	1.0