基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究

• 作者: 乔大勇 孟庆超 王军平 苑伟政 虞益挺 郭向楠
• 来源期刊: 航空兵器
• 学科: 工学
• 关键词: FR-4 微扫描镜 电磁驱动 有限元仿真 性能测试
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 综合基础技术
• 页码范围: 75-79
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 1985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19297/j.cnki.41-1228/tj.2017.04.013

摘要

设计一种基于FR-4材料的电磁驱动微扫描镜,进行了有限元仿真,并利用标准PCB技术制作了器件.测试结果表明,器件具有约0.015 (°)/mA的静态转角,在50～500 Hz驱动频率下光学转角始终大于±2°,在360 Hz处达到最大±34.18°,同时反馈电压与扫描角度具有良好的线性关系.器件通过了高低温及寿命试验,其可靠性得到了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军平		10	13	2.0	3.0
2	郭向楠		1	0	0.0	0.0
3	孟庆超		3	34	2.0	3.0