一种汽车碰撞试验用低阻尼宽频响加速度传感器

• 作者: 卞玉民 张旭辉 杨拥军 肖咸盛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 低阻尼 压阻 加速度传感器 碰撞试验 绝缘体上硅(SOI)
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 329-335,341
• 页数: 8页
• 分类号: TH703|TH824.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.05.007

摘要

基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器.为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过载的新颖限位结构,保证了低阻尼传感器高过载、高可靠性.传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)片加工,并利用硅硅键合与共晶键合工艺相结合实现了圆片级气密封装,具有易于批量生产的优势,可以广泛应用于汽车碰撞试验.封装后的传感器采用振动法和冲击法进行性能测试,测试结果表明,传感器的量程范围大于2 000g,阻尼比为0.023,谐振频率约27.6 kHz,带内平坦度在±4％范围内带宽大于5 kHz,传感器在多次承受20 000g的冲击下没有失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
2	卞玉民	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	38	3.0	5.0
3	张旭辉	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	7	2.0	2.0
4	肖咸盛	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	4	2.0	2.0