显微硬度计测试NiTi SMA薄膜与PZT基体结合力的分析

• 作者: 何烜坤 王金钢
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 维氏硬度 NiTi SMA薄膜 PZT基体 结合力
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 分析与检测
• 页码范围: 132-134,140
• 页数: 4页
• 分类号: TB333
• 语种: 中文

摘要

通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结合力减小;膜宽L＜3mm的NiTi SMA薄膜,其膜基结合力最高达351 N/mm2,比膜宽L≥3mm的结合力高2倍多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金钢	中国电子科技集团公司第四十六研究所质检中心	9	5	1.0	2.0
2	何烜坤	中国电子科技集团公司第四十六研究所质检中心	2	0	0.0	0.0