HL-2A偏滤器沉积测量系统的研制

• 作者: 吴婷 才来中 曾晓晓
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体微天平 沉积 等离子体与壁的相互作用(PWI) HL-2A偏滤器
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 等离子体物理学
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TL62+1
• 字数: 2789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16568/j.0254-6086.201701003

摘要

为了检测HL-2A偏滤器靶板的背后沉积层的沉积情况和深入了解其等离子体与第一壁的相互作用过程,国内首次研制了用于托卡马克装置的偏滤器沉积测量系统,其中包括石英晶体、测量探头、频率测量以及控制系统等.经过初步检测,该沉积系统平均采样速率为13~14s-1;测量的石英晶体共振频率分辨率为0.01Hz;石英晶体共振频率的变化正比于沉积在石英晶体表面的质量的变化,这与Sauerbrey方程的线性关系吻合;实验室检测过程中该沉积系统的平均沉积率约为2.0ng?s-1,显示该沉积系统具有纳克级质量检测能力,表明了该偏滤器沉积系统的测量性能和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	才来中		6	12	2.0	3.0
2	曾晓晓		2	3	1.0	1.0
3	吴婷		2	3	1.0	1.0