用于音叉式原子力显微镜的探针制备

• 作者: 周砚江 施玉书 汪雅丽 熊艳艳 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 钨探针 石英音叉 电化学腐蚀
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 1291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.01.09

摘要

建立了一种电化学腐蚀法钨探针制备系统,通过对电化学腐蚀过程中微弱电流信号的实时检测,实现对腐蚀电路快速通断的自动控制,断电时间0.3 ms.该系统制备出了具有与理想轮廓一致的指数形探针.分析了电解电压、电解液浓度与腐蚀电流的关系,得出腐蚀最佳参数.将石英音叉与钨探针粘接构成原子力显微镜测头,完成了调幅模式下的力曲线测试.实验结果表明:制作的钨探针满足原子力显微镜测头性能要求,音叉信号稳定,能识别10 nm的运动变化,为研制高性能音又式原子力显微镜提供了实验技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	周砚江	浙江理工大学机械与自动控制学院	28	160	8.0	11.0
3	施玉书		35	121	5.0	8.0
4	汪雅丽	浙江理工大学机械与自动控制学院	2	6	2.0	2.0
5	熊艳艳	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	4	1.0	1.0