基于新型谐振柱的高频波导滤波器的设计

• 作者: 张斌珍 段俊萍 王颖 白琼 黄成远
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振柱 波导滤波器 加工误差 梯形凸台 HFSS 微电子机械系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 324-328,363
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.05.006

摘要

为了减小加工误差对高频滤波器性能的影响,设计并加工了一款基于新型谐振柱的高频波导滤波器.首先设计了一个两腔波导滤波器,然后通过给腔内的方形脊两侧加载梯形凸台完成了滤波器的设计.运用Ansoft HFSS软件对滤波器进行了模型仿真和参数优化.仿真优化结果显示,滤波器中心频率为104 GHz,带宽约为3 GHz,插入损耗小于0.1 dB,回波损耗大于25 dB,且梯形凸台的加载有助于增强腔间耦合,将加工误差影响减小为原来的一半.最后用微电子机械系统(MEMS)工艺完成了滤波器的加工并对其进行了测试,测试结果与仿真结果大致吻合,为高频滤波器的设计和加工提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学电子测试技术重点实验室	107	535	12.0	18.0
2	王颖	中北大学电子测试技术重点实验室	22	109	3.0	10.0
3	段俊萍	中北大学电子测试技术重点实验室	40	96	6.0	7.0
4	黄成远	中北大学电子测试技术重点实验室	5	10	2.0	3.0
5	白琼	中北大学电子测试技术重点实验室	4	2	1.0	1.0