Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响

• 作者: 刘进 劳远侠 汪渊
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 纳米复合多层膜 硬度 临界载荷
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 465-471
• 页数: 7页
• 分类号: TG148
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2016.00259

摘要

采用多弧离子镀膜设备制备了掺杂Cu的AlN/TiN-Cu纳米复合多层膜,利用FESEM、HRTEM和XRD分别表征了薄膜的微观结构和相组成,用压入法和划痕法确定了薄膜的硬度和膜/基结合力,研究了Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响.结果表明,Cu的掺杂对薄膜的微观结构有较大的影响.薄膜的平均晶粒尺寸随Cu含量的增加而逐渐减小.掺入少量Cu后,薄膜的硬度均有提高,但不同种类的薄膜有不同的临界载荷变化趋势,纳米复合单层薄膜的临界载荷有所增大,而纳米复合多层膜的临界载荷反而有所减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘进		374	2067	20.0	27.0
2	汪渊		11	9	1.0	2.0
3	劳远侠		4	3	1.0	1.0