高Q平面集成光波导谐振腔

• 作者: 刘俊 唐军 张成飞 潘梓文 郭慧婷 钱坤
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 回音壁模式(WGM) 谐振腔 硅基二氧化硅 品质因数 光波导
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 319-323
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.05.005

摘要

提出了一种高品质因数的氧化硅平面集成光波导谐振腔的设计与加工方案.利用Matlab与BeamPROP软件对回音壁模式(WGM)谐振腔结构模型进行了仿真分析,深入讨论了耦合状态、腔长与谐振腔品质因数的关系.设计了直径6 cm的环形光波导谐振腔,直波导与环形腔的耦合率为3.3％.整个谐振腔耦合结构被设计为欠耦合状态来优化其品质因数.在此基础上,在硅衬底上采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术和紫外光刻技术制作出二氧化硅光波导谐振腔芯片,芯片尺寸为7 cm×7 cm.利用一个波长为1 550 nm可调谐激光器对谐振腔的光谱进行了测试,测试结果表明所加工出的氧化硅光波导谐振腔的品质因数高达4.3×107.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	64	114	5.0	9.0
3	潘梓文	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	4	1.0	2.0
4	郭慧婷	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	6	1.0	2.0
5	张成飞	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	14	18	3.0	3.0
6	钱坤	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	13	2.0	3.0