直流溅射法制备SnO2纳米颗粒的机理及工艺研究

• 作者: 刘敬茹 宋西平 张蓓 王涵 陈嘉君
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2 纳米颗粒 直流溅射 制备工艺 机理研究 衬底
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2797字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.01.011

摘要

采用直流溅射法成功制备出了SnO2纳米颗粒，分析了SnO2纳米颗粒的形成机理，研究了不同溅射时间、不同衬底材质对SnO2纳米颗粒形成的影响规律。结果表明，溅射时间对SnO2纳米颗粒的尺寸有显著影响。随溅射时间延长，颗粒尺寸呈线性增长，从约20 nm(1 min)增长到约80 nm(10 min)。衬底材质则对SnO2纳米颗粒的形态及分布有显著影响。对比单晶硅、载玻片、喷金载玻片三种不同衬底材质，发现以单晶硅为衬底的纳米颗粒分布均匀，而以载玻片为衬底的纳米颗粒分布不均，并且随溅射时间延长，以载玻片为衬底的纳米颗粒发生团聚生长，颗粒粗大。载玻片衬底喷金处理后可使纳米颗粒的形貌及分布得到改善。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋西平	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	54	394	10.0	18.0
2	张蓓	北京科技大学自然科学基础实验中心	18	73	6.0	7.0
3	刘敬茹	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	5	3	1.0	1.0
4	王涵	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	6	12	2.0	3.0
5	陈嘉君	北京科技大学新金属材料国家重点实验室	2	2	1.0	1.0