利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析

• 作者: 周莹 徐建 郝萍
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: XPS分析 平行成像技术 表面微区分析
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 字数: 2946字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2017.05.003

摘要

利用XPS能谱分析结合平行成像技术,在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索,并选取了三类比较有代表性样品,通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量,获得较好的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周莹		6	7	1.0	2.0
2	徐建		9	33	3.0	5.0
3	郝萍		5	6	1.0	2.0