多维复用硅基集成光子器件

• 作者: 储涛 吴维轲 郭德汾
• 来源期刊: 中兴通讯技术
• 学科: 工学
• 关键词: 波长复用/解复用 模式复用/解复用 偏振控制 硅光器件
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 专题:硅基光电子集成技术与器件
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TN929.5
• 字数: 3588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6868.2017.05.006

摘要

从波长、模式、偏振几个维度的复用/解复用和路由出发,分别提出了新颖的器件设计方法并制作了相应的硅基光子器件,包括:阵列波导光栅器件(AWG)/刻蚀衍射光栅器件(EDG)、模式分离合束器件、偏振分离耦合光栅、偏振分离/分离旋转器件.AWG可以采用一步刻蚀简单工艺制作形成,EDG插损得到大幅降低,模式分离器件带宽增大,插损也得到降低,偏振分离耦合光栅的耦合效率得到有效提升,偏振分离/旋转器件的插损和带宽也被显著改进.以上器件全部符合互补金属氧化物半导体(CMOS)-180 nm工艺标准,这些器件的研制工作为多维度光波复用/解复用处理及传输提供了先进的器件技术保障.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	储涛		2	1	1.0	1.0
2	郭德汾	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0
3	吴维轲		1	0	0.0	0.0