一种微型探针台的设计和应用

• 作者: 吴建伟 顾吉
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 探针台 晶圆 辐照 高低温 测试系统
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 产品、应用与市场
• 页码范围: 41-46
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 字数: 5214字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种便携式探针台,其结构小巧,功能实用,成本较低,可以满足基本的试验需求.特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构设计,使得探针台部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照试验中.固定在探针台上的芯片可以与探针台一起放置于空间任意位置,方便将芯片对准辐照源中心.该探针台也可放置在高低温箱中,用于芯片的三温测试.加上显微镜固定采用多角度云台支架设计,支持全方位观察,可以使得观察更加立体直观.探针卡采用多探针结构,可实现多路测试,并且探卡及其信号连接线采用了低漏电及EMI设计,测试精度可以达到0.1nA以下,配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干扰能力,其测试数据更加精确.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾吉		6	3	1.0	1.0
3	吴建伟		25	39	4.0	4.0