粒子束注入单晶硅尺寸效应的机理研究

• 作者: 周兵 张文栋 柴晶 桑胜波 邓宵 陈泽华 魏也
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 粒子束注入 注入率 分子动力学 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 1064-1071
• 页数: 8页
• 分类号: TB131|TN304.055|TN305.2
• 字数: 3396字
• 语种: 中文

摘要

使用分子动力学方法研究硅粒子注入技术.系统比较分析了团簇粒子的包含反射,扩散和植入基底在内的全部运动过程,同时使用可视化方法观测记录基底表面形貌演化过程.所建立模型直观地显示了低注入能量域内的新特征.注入过程中,团簇粒子由不同粒径(数量)的硅原子组成.通过对粒径变化在注入过程的影响研究揭示了注入技术机理.仿真结果表明提出方法可用于定量预测注入粒子表面分布.本文工作可作为原子尺度下生成基底表面特征或设计图案的参考,并对可控表面沉积技术提供理论指导.