基于差动电容传感器的微动定位系统设计

• 作者: 吴腾达 王昕 范贤光 许英杰 阙靖 陈军
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 差动电容传感器 压电陶瓷 纳米定位
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 106-109
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.65
• 字数: 2441字
• 语种: 中文

摘要

设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统,该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉.采用簧片结构设计系统的机械结构,使用压电陶瓷作为执行器件,使用差动电容传感器作为位移反馈,实现闭环控制,从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应.介绍了微动定位系统的机械组成和差动电容传感器信号检测电路的工作原理,并对系统进行了测试和标定实验.实验结果显示:该平台能够实现15 μm的扫描,精度约为15 nm,且动态性能良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范贤光	厦门大学航空航天学院	23	62	5.0	6.0
2	王昕	厦门大学航空航天学院	29	57	5.0	6.0
3	许英杰	厦门大学航空航天学院	19	78	6.0	8.0
4	阙靖	厦门大学航空航天学院	6	18	3.0	4.0
5	陈军	厦门大学航空航天学院	14	51	4.0	6.0
6	吴腾达	厦门大学航空航天学院	2	1	1.0	1.0