基于磁导调制的直线式时栅位移传感器?

• 作者: 曹焕 朱海 武亮 陈锡侯
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 时栅位移传感器 高精度 大量程 磁导调制 误差特性
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TH711
• 字数: 2364字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.01.005

摘要

为了满足恶劣环境下精密位移测量的需求,解决现有测量方法在大量程和高精度之间无法兼顾的难题,克服小栅距造成加工难度大的缺点,提出一种基于磁导调制的驻波合成行波的新方法,研究一种新型直线式时栅位移传感器。通过对传感器测量原理的理论推导,设计了传感器的基本结构,应用三维磁场仿真软件Ansoft Maxwell对传感器进行建模与仿真,采用快速傅里叶变换( FFT)对仿真结果进行误差分析与溯源,根据分析结果对模型结构优化并进行仿真实验验证；根据优化模型制作传感器实物并搭建实验平台进行实验验证。实验结果显示：在200 mm测量范围内,测量精度达±600 nm,且传感器制造简易,成本低廉,在实际工程中具有重要的实用价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈锡侯	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	54	435	13.0	17.0
2	武亮	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	34	215	9.0	13.0
3	朱海	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	2	10	1.0	2.0
4	曹焕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	1	10	1.0	1.0