氮化铝粉合成设备连续进料系统的改进

• 作者: 石金林 邵景辉
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝粉 碳热还原法 合成炉 破碎率 进料系统
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 62-64
• 页数: 4页
• 分类号: TN705
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵景辉	中国电子科技集团公司第四十三研究所	1	0	0.0	0.0
2	石金林	中国电子科技集团公司第四十三研究所	2	0	0.0	0.0