在线CVD镀膜器反应面检测调整方法

• 作者: 郑崇
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 在线CVD镀膜器 反应面 平整度 间隙 膜层均匀性
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 字数: 1302字
• 语种: 中文

摘要

镀膜器反应面平整度为在线镀膜的重要工艺参数.介绍了在线CVD镀膜系统安装调试及生产过程中,如何使用更加科学的方法来精确检测调整镀膜器反应面的平整度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑崇		1	0	0.0	0.0