Al靶溅射功率对CrAlN涂层组织结构及摩擦性能的影响

• 作者: 任兴润 张钦英 文彦 陈颢
• 来源期刊: 有色金属科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlN 摩擦磨损 表面形貌
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 109-114
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44|TF124.85
• 字数: 3883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13264/j.cnki.ysjskx.2017.05.016

摘要

为探寻Al靶功率对CrAlN涂层性能的直接影响,利用直流反应磁控溅射的方法在304不锈钢基体上沉积CrAlN涂层,并研究不同Al靶功率对CrAlN涂层组织结构与摩擦性能的影响.采用SEM、XRD、AFM、往复摩擦磨损试验机、显微硬度计、三维轮廓仪对试样的物相组成、表面形貌、摩擦磨损性能、硬度和磨痕形貌进行表征.结果表明:随着Al靶功率的增加,CrAlN涂层的晶粒尺寸呈现轻微的先增大后减小的规律,Al靶功率为180 W时的晶粒尺寸最小;随着Al靶功率的增加,显微硬度、平均沉积速率呈现先增大后减小的规律而磨痕深度、平均体积磨损率呈现出相反的变化趋势.经综合比较,Al靶功率为150 W时CrAlN涂层的综合性能较优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈颢	江西理工大学材料科学与工程学院	47	289	9.0	14.0
3	文彦	江西理工大学材料科学与工程学院	2	15	2.0	2.0
4	张钦英	江西理工大学材料科学与工程学院	2	15	2.0	2.0
7	任兴润	江西理工大学材料科学与工程学院	6	23	4.0	4.0