光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感技术研究进展

• 作者: 刘申 廖常锐 李自亮 王义平
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光纤传感器 法布里-珀罗干涉仪 温度传感器 压力传感器
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 专题:光纤传感
• 页码范围: 87-103
• 页数: 17页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.070708

摘要

光纤法布里-珀罗干涉温度和压力传感器具有灵敏度高、制作简单、成本低、体积小和抗电磁干扰能力强等优点,己被广泛应用于军事和民用领域.在某些环境恶劣,如具有强电磁干扰和腐蚀性,或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域,微型光纤温度和压力传感器发挥着重要的作用,国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究.本文综述了光纤法布里-珀罗干涉仪的基本原理、制备技术、及其压力和温度传感应用的研究进展.详细介绍了湿法化学腐蚀制备法、电弧放电制备法、飞秒激光制备法、聚合物辅助制备法等常见光纤法布里-珀罗腔传感器的制作工艺,分析了不同制作工艺的优缺点;详细介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪在温度传感、压力传感和温压一体传感领域的应用;最后对光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感器的发展进行了总结和展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王义平	深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室	4	35	2.0	4.0
2	廖常锐	深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室	4	35	2.0	4.0
3	刘申	深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室	2	16	1.0	2.0
4	李自亮	深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室	1	16	1.0	1.0