Schmid开发新型金刚石线切割多晶片纹理化工艺

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 线切割 金刚石 工艺 纹理 晶片 开发 生产制造商 多晶硅片
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 37-37
• 页数: 1页
• 分类号: TG484

摘要

德国生产制造商Schmid宣布研发出一种新型金刚石线切割多晶硅片纹理化工艺。还表示其首批新型技术系统将于2017年第二季度开始出售。