一种新型石墨烯/多孔氮化硅复合材料的制备及性能研究

• 作者: 张立强 程广贵 葛道晗 钱栋梁
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 多孔氮化硅 表面应力 微结构 性能调控 微纳器件
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TB332
• 字数: 2968字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.01.006

摘要

基于等离子体增强化学气相沉积法、干法刻蚀技术、化学气相沉积法及腐蚀基底法，制备了一种新型石墨烯与多孔氮化硅复合材料；该结构的氮化硅衬底具有不同的形貌结构（孔阵列及沟道阵列）。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪对石墨烯/多孔氮化硅复合材料进行表征和表面应力特性研究。结果表明：不同形貌结构的氮化硅与石墨烯复合后的表面应力不同。表面粗糙度、表面形貌及表面面积是影响复合材料表面应力的主要因素。其中，氮化硅多孔形貌结构（应变0.1%~0.12%）与氮化硅沟道形貌结构（应变0.16%~0.27%）相比，更有利于缓解石墨烯/多孔氮化硅复合材料的表面应力集中问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程广贵	江苏大学机械工程学院微纳米科学技术研究中心	48	176	8.0	12.0
2	张立强	江苏大学机械工程学院微纳米科学技术研究中心	11	58	5.0	7.0
3	钱栋梁	江苏大学机械工程学院微纳米科学技术研究中心	2	4	2.0	2.0
4	葛道晗	江苏大学机械工程学院微纳米科学技术研究中心	6	8	2.0	2.0