微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究

• 作者: 钱鸣镝
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 MEMS 陀螺仪 微电容检测 Q值测试
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: TN407
• 字数: 4301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2017.05.017

摘要

作者从原理出发,结合实际开发的产品,由浅入深,提供了微电容检测和Q值测试方案,以及如何实现自动化测试.测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求,提前筛除不合格的产品,还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱鸣镝		2	4	1.0	2.0