电子束退火法制备MgB2薄膜的温度场模拟

• 作者: 孔祥东 张雪娜 李晓娜 李艳丽 许壮 韩立
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: ANSYS 电子束退火 薄膜 温度场 模拟
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 模拟计算
• 页码范围: 173-177,190
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

利用ANSYS软件模拟电子束退火MgB2薄膜过程的温度场分布,退火样品与样品台之间的接触热阻对退火温度影响很大,且此接触热阻会随退火参数(电子束能量和退火时间)发生变化,这给模拟工作带来很大困难.本文先通过热阻串联对样品进行等效简化,再利用热传导近似计算把接触热阻的效应等效在样品模型中,并将接触热阻随退火参数的变化转化为电子束能量转化效率的变化,得到修正后的热源模型,仿真所得温度值与实测温度值基本相符,这为电子束退火制备薄膜材料的研究提供了温度参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许壮	兰州大学物理科学与技术学院	2	5	1.0	2.0